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電子行業(yè)EDI超純水設(shè)備

產(chǎn)品介紹

  電子行業(yè)超純水設(shè)備是一款半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。

工藝設(shè)計(jì)

  1、采用離子交換方式,其流程如下:自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂床→陰樹(shù)脂床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混合床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

  2、采用兩級(jí)反滲透方式,其流程如下:自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級(jí)反滲透主機(jī)(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

  3、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(最新工藝性?xún)r(jià)比最高):自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過(guò)濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

設(shè)備特點(diǎn)

  1.制取電子級(jí)超純水

  2.可連續(xù)自動(dòng)生產(chǎn),不必停機(jī)再生

  3.出水水質(zhì)優(yōu)于常規(guī)離子交換法

  4.不需酸堿再生,不污染環(huán)境

  5.運(yùn)行成本低,占地面積小

技術(shù)參數(shù)
電導(dǎo)率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水溫度:5~35℃
總硬度:<0.5ppm
有機(jī)物:<0.5 ppm,TOC為零
氧化物:≤0.05ppm
鐵、錳:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm
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